感測器安裝於測試系統的核心測量區域，橫跨標準腔體與待測腔體之間。其功能包括持續偵測壓力變化、精確判定洩漏狀態、轉換電氣訊號及提供高解析度測量。工作原理是利用高精密的電容式壓力感測技術，當壓力產生變化時，感測膜片的微小變形會引起電容值改變，並轉換成精確的電氣訊號。
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感測器的核心在於其感測膜片，通常選用具備優異彈性的銅合金材質。它如同靈敏而堅韌的薄膜，能精準捕捉極微小的壓力變化。
作為精密儀器，為確保氣體流向與導電性等高精度要求，產品製程中嚴格杜絕任何可見刮傷，且表面處理後不得殘留水痕，符合高精密等級零件標準。