Präzisionsgefertigte Anschlussbaugruppen für die Halbleiterfertigung, die Rohrbiegung mit Präzisionsbearbeitung kombinieren, um hochreine Fluidtransfersysteme zu liefern, die den Anforderungen an Korrosionsbeständigkeit und Reinheit in strengen Reinraumumgebungen entsprechen.
Halbleiterfertigungsprozesse stellen extrem strenge Anforderungen an Gas- und Chemikalienzufuhranschlüsse, bei denen selbst geringfügige Verunreinigungen oder Leckagen die Ertragsraten beeinträchtigen können. Die Herausforderung bei der Herstellung solcher kundenindividuellen Anschlussbaugruppen liegt in der Integrationsfähigkeit mehrerer Prozesse: von der präzisen Rohrbiegung über Dreh-Fräsarbeiten an den Anschlussenden bis hin zum mehrachsigen Fräsen und Bohren zur Positionierung der Montagehalterungen. Jeder Schritt erfordert eine strenge Kontrolle der Maßtoleranzen.
Insbesondere beim Schweißen ist die Gewährleistung der Dichtheit und Oberflächenreinheit entscheidend, um Partikelverunreinigungen zu verhindern. Die abschließende elektrochemische Politur erfordert eine präzise Parametersteuerung, um höchste Oberflächengüte ohne Beeinträchtigung der Maßgenauigkeit zu erreichen und sicherzustellen, dass keine Rückstände oder Toträume auf den Fluidkontaktflächen zurückbleiben.
Halbleiter-Rohrleitungssysteme
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Drehen, Fräsen, Bohren, Präzisionsschleifen, Läppen, Schweißen, Rohrbiegung
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Hastelloy C22 bietet eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit, insbesondere gegenüber oxidierenden Säuren, chloridhaltigen Umgebungen und feuchtem Chlorgas. Daher ist es das bevorzugte Material für chemische Zuführungssysteme in der Halbleiterindustrie. Im Vergleich zu Edelstahl 316L bietet C22 eine längere Lebensdauer und eine stabilere Leistung in korrosiven, hochkonzentrierten chemischen Prozessumgebungen mit hohen Temperaturen.
Die Entwicklungserfahrung von WKPT mit solchen Anschlussbaugruppen erstreckt sich auch auf andere anspruchsvolle Anwendungen, darunter Anlagen für chemische Prozesse, Reinraumleitungen für die pharmazeutische Industrie und Spezialgasversorgungssysteme. WKPT verfügt über umfassende technische Kompetenzen in den Bereichen Materialbeschaffung, Prozessplanung und Qualitätsverifikation. Dadurch können wir maßgeschneiderte Engineering-Lösungen und technischen Support anbieten, die exakt auf die spezifischen Kundenanforderungen abgestimmt sind.