精密管路配件製造｜半導體製程核心零件
應用於半導體製程的二次配管系統，整合彎管成型與精密機械加工，提供高純度流體輸送解決方案，滿足嚴苛製程環境的耐腐蝕與潔淨度要求。
半導體製程對於氣體與化學品輸送系統的要求極為嚴格，任何微量的污染或管路洩漏都可能影響良率。這類客製化配管組件的製程門檻在於多重工序的整合能力：從管材的精密彎曲成型、連接端的車銑複合加工、到安裝座的多軸銑削與鑽孔定位，每個環節都需要嚴格的尺寸公差控制。
特別是在焊接製程中，必須確保接合處的氣密性與表面潔淨度，避免產生顆粒污染源。最終的電解拋光處理更需要掌握適當的參數，在不影響尺寸精度的前提下，達到超低表面粗糙度要求，確保流體接觸面不殘留雜質或產生死角。
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哈氏合金C22具備優異的抗腐蝕特性，特別是對於氧化性酸、氯化物環境以及濕氯氣具有極佳的抵抗能力，這使其成為半導體化學品輸送系統的首選材料。相較於316L不鏽鋼，C22在面對高溫、高濃度的酸鹼製程時，能提供更長的使用壽命與更穩定的性能表現。
此類產品的開發經驗，可延伸至其他高階應用領域，包括化工製程設備、製藥產業的潔淨管路系統，以及特殊氣體供應系統等。我們具備從材料供應、製程規劃到品質驗證的完整技術能力，能夠依據客戶的特殊需求，提供客製化的工程解決方案與技術支援。